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Foire Aux Questions
Version 0.485
"La générosité est l'art d'engendrer la liberté de l'autre"
Copyleft de René Descartes (1596-1650)
II. Equations instrumentales
II.1. Description de la lumière polarisée
II.2. Représentations matricielles des optiques
II.3. La photodétection
III. Mesures simples de la
polarisation lumineuse
III.1. Mesure par annulation (Sénarmont)
III.2. Mesure des paramètres de Stokes
IV. Mesures de distance
IV.1. Le picomètre par
ellipsométrie
IV.2. Interférométrie
et ellipsométrie
IV.3. Le picomètre sur
des kilomètres
V. Ellipsométrie des couches minces
V.1. Ellipsomètre à
annulation
V.2. Ellipsomètre à
biréfringent tournant
V.3. Interprétation
des mesures (algorithmes multicouches commentés)
V.4. Précision des mesures
d'épaisseurs de couches minces
VI. Exemples de mesures ellipsométriques
VI.1. Cinétique d'oxydation du silicium
VI.2. Compaction de résine lithographique
VI.3. Cartographie de siliciure de germanium
VII. Photoélasticité
VII.1.
Contraintes
et déformations des couches minces
VII.2.
Dispersion
chromatique de la photoélasticité